[イーデイリーKIM YOON JI 記者] ロイター通信は5日、SamsungElectronics(005930)とSK hynix(000660)が、米国の輸出規制強化の可能性に備え、中国国内の工場での使用を目的として、中国の半導体製造装置メーカーである中威半導体設備（AMEC）の装置を評価していると報じました。
複数の情報筋によると、両社は米国政府による輸出規制の強化に備え、2年前にAMECのエッチング装置の試験に着手しました。現時点では、両社がAMECの装置を中国国内の工場に導入してはいませんが、AMECが世界的な半導体メーカーから装置の性能を検証してもらえる稀な機会を得たと、ロイターは評価しています。
これは、米国による対中半導体輸出規制が抱えるパラドックスだという指摘も出ています。中国の半導体産業の発展を抑制するために講じられた措置が、かえって中国国内の外資系半導体工場において、中国の装置メーカーが足場を広げる機会を生み出したためです。
しかし、サムスン電子はロイターに送った声明で、中国工場への導入を目的としてAMECの装置を試験したことはなく、これを検討したこともないと明らかにしました。SKハイニックスはコメントを拒否したと、ロイターは伝えています。

米商務省は2023年、サムスン電子とSKハイニックスの中国工場を「検証済み最終ユーザー（Validated End User・VEU）」に指定しました。これにより、両社は一部の規制対象となる米国製装置を、案件ごとの許可なしに中国工場へ搬入することが可能となりました。
しかしその後、米国政府は2025年にVEUの承認を取り消しました。その後、両社が2026年に中国工場へ半導体製造装置を持ち込めるよう、1年単位の許可を付与しました。情報筋によると、両社は今後、規制が新規装置だけでなく、中国工場にすでに設置されている欧米製装置の保守・修理・交換にまで拡大される可能性を懸念しているとのことです。
これを受け、両社は中国国内の生産能力を拡大するよりも、既存の生産ラインを維持・改善するための代替策として、中国の装置メーカーを予備の供給先として確保していると、情報筋は付け加えました。
サムスン電子は、中国・西安でNANDフラッシュメモリ工場を運営しています。SKハイニックスは、大連にNAND工場を、無錫にDRAMメモリ工場を構えています。両社の中国工場では、アプライド・マテリアルズやラム・リサーチなど、米国企業のエッチング装置を使用しています。
ロイターは、AMECなどの中国の半導体装置メーカーがサムスン電子やSKハイニックスの承認を得れば、事実上、商業的な品質認証を受けたことになるだろうと分析しました。中国の装置メーカーは、最先端の露光装置や一部の検査装置の分野では、依然として西側の競合他社に後れを取っているとの評価を受けています。しかし、エッチングや成膜、洗浄、平坦化の分野では格差を縮めており、価格も海外の既存サプライヤーよりもかなり安いとロイターは伝えています。
AMECの装置は、すでにNANDメーカーの揚子江メモリテクノロジー（YMTC）をはじめとする中国の主要半導体メーカーで使用されています。このため、サムスン電子やSKハイニックスも、一部の装置については試験を行うほど十分に成熟していると判断できたと、情報筋は伝えています。